精密异型无缝管硼铝共渗

硼铝共渗结束作业时，先切断靶面的高压、精密异型无缝管偏压、丝流、丝偏压和停止通氩，再关闭扩散泵及阀门。关闭机械泵和电源，时间为0.5h。经过上述处理，高速钢碳化钛涂层的硬度在2858~3008HV之间，涂层与基体结合良好，表面组织不存在η相。

碳氮化物钛的化学气相沉积是在一套专门设备中进行的，这些设备包括：原料蒸发装置，化学气相沉积炉，氢净化系统，废气净化系统等等。作业流程：精密异型无缝管表面清洁后，放入880~1050℃的沉积炉中，用氢气作载体，将四氯化钛和甲苯蒸汽引入沉积炉中，通入高纯氮气，在规定的20#精密异型管工艺条件下，炉内发生一系列气-固化学反应，在精密异型无缝管表面沉积碳氮化钛。

在精密异型无缝管表面进行化学气相沉积，其硬度可达2000~2700HV。因其摩擦系数小，硬度高，工件寿命可提高2~6倍。等离子体加强化学气相沉积法，是将精密异型无缝管放在气压低直流辉光放电电极上，加热精密异型无缝管至预定温度，然后通入适量的含可沉积金属卤化物气体和还原性气体的精密异型无缝管，通过一系列化学反应和等离子体的活化作用，在其表面沉积碳氮化合物层。

清洗真空室，将工件彻底除锈、脱脂后放置于真空室内，盖上真空罩。二是启动真空泵，抽真空至5×1.33~0.133Pa。三、通入Ar气体，用辉光放电清除精密异型无缝管，大约20毫安。4)通过H2,N2气体，调整气压和电力参数，使温度升高。

五、精密异型无缝管在温度下通入TiCl4蒸气。四号蒸汽是用电热水槽控制温度的。保持光照和温度的同时。在沉积时间达到后停止供应TiCl4，减少H2,N2气体流量，在维持20min辉光后停止各种气体供应。7)结束工作，0.5h后关闭泵机并供电。工艺参数1)沉积温度在450~650℃。

气压值在266.64~1066.56帕之间。Ar气体的流量为15~25L/h,H2气体的流量为50~70L/h,N2气体的流量为28~40L/h。四、TiCl4蒸汽在40~80℃范围内加热。五、电压2000~3500V，电流5~12A，可连续调节。精轧精密异型管固态盐浴覆层工艺具有设备简单，操作方便，只要有盐浴炉就能实施的优点。

精密异型管涂层处理一般是将硬质金属碳化物、金属氮化物和特殊性能的合金，经热处理固相沉积法或盐浴沉积于精密异型无缝管表面，使之获得极高的硬度、优良的耐磨性和耐蚀性等。异型精密钢管炭化物包层工艺主要有固体包层法和熔盐包层法。